消息稱臺積電已爲明年生產下定13臺EUV光刻機:花了至少120億

消息稱臺積電已爲明年生產下定13臺EUV光刻機:花了至少120億

臺積電和三星均已投入5nm工藝的量產,前者代工的產品包括蘋果A14、M1、華爲麒麟9000等,後者則包括Exynos 1080以及傳言中的驍龍875等。

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其實從7nm開始,臺積電和三星就開始引入EUV光刻,但過程層數較少。按照ASML(阿斯麥)的說法,迭代到5nm後,EUV的層數達到了14層,包括但不限於觸點、過孔以及關鍵金屬層等過程。未來的3nm、2nm,對EUV的依賴將更甚。

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作爲目前唯一能生產EUV光刻機的荷蘭ASML來說,自然成了臺積電和三星爭搶的香餑餑,即便單臺價格達到了1.2億歐元(約合9.4億元人民幣)。


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來自Digitimes的最新報道稱,臺積電爲明年生產,已經向ASML下定了至少13臺EUV光刻機。簡單估算的話,花費的金額超120億元人民幣。

需要明白的是,EUV光刻機不是有錢就能買,因爲ASML每年的產能非常有限,2019年全年纔出貨了26臺,今年上半年出貨了13臺,截至三季度結束累計纔出貨23臺。

另外,ASML定於明年中旬交付最新一代EUV光刻機TWINSCAN NXE:3600D,生產效率提升18%、機器匹配套準精度改進爲1.1nm,不出意外的話,臺積電應該是首批客戶。

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